タイプの説明

8713型質量流量制御器（MFC）は、大流量範囲でガスの質量流量制御を行うのに適している。気流中に直接位置する熱MEMSセンサは、極めて高速な応答を実現することができる。直動式Bürkert比例弁を実行素子とし、良好な応答感度を確保した。統合PIコントローラは、MFCに優れた制御特性を持たせる。8713型デバイスは、2つの異なるガスに対して較正することができ、ユーザーは2つの間を切り替えることができる。上位装置との通信は完全にデジタル形式を採用しており、これにより、追加のデジタルアナログ変換を省くことができる。8713型質量流量制御器は、燃焼器制御、熱処理、材料コーティング、バイオリアクタ、燃料電池技術、または試験台などの多様な用途に適している。

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